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薄膜太陽能電池激光刻蝕機-中試線

鈣鈦礦電池激光刻蝕、劃線系統

滿足剛性玻(bo)璃基底(di)表面的(de)薄膜類太陽能電池刻蝕(shi)，采用(yong)(yong)四臺設(she)備(bei)分別對(dui)應不同薄膜電池不同功能層刻蝕(shi)需(xu)求。P1采用(yong)(yong)納(na)秒紅外(wai)刻蝕(shi)TCO，P2采用(yong)(yong)皮(pi)秒紫外(wai)或綠光刻蝕(shi)功能層，P3采用(yong)(yong)皮(pi)秒紫外(wai)或綠光刻蝕(shi)背電極，P4采用(yong)(yong)高(gao)功率納(na)秒紅外(wai)做(zuo)清邊。

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基本(ben)功能(neng)

滿足剛性玻(bo)璃基底表面的薄(bo)膜類太陽能電池刻蝕，采用四(si)臺設備分別對應(ying)不同薄(bo)膜電池不同功能層刻蝕需求。P1采用納秒紅外刻蝕TCO，P2采用皮秒紫外或綠光刻蝕功能層，P3采用皮秒紫外或綠光刻蝕背電極，P4采用高功率納秒紅外做清邊。

特(te)別(bie)注明(ming)：柔性基底中(zhong)試線元祿光電開(kai)發中(zhong)，可電話詳細咨詢(xun)聯系！

產能高：可配(pei)備(bei)多(duo)路光束(shu)加工（可配(pei)單路），單機產能可達100MW;

精度高(gao)：采用(yong)高精(jing)度CCD定位，定位精度±15um；

可靠度高：采用特有結構，設備(bei)穩(wen)定(ding)性高；

適應性強：每一(yi)臺設(she)備既(ji)可(ke)離線(xian)（前后需加一(yi)段接駁臺），又可(ke)在線(xian)使用，適應不同(tong)客戶的需求；

性能參(can)數

參數	P1紅外激光刻蝕機(ji)	P2皮秒激光刻(ke)蝕機		P3皮秒激光刻蝕(shi)機		P4紅外激光刻蝕機
激(ji)光波長(chang)	1064/532/355nm	355/532 nm		355/532nm		1064nm
功率	30W MOPA	15-60W		15-60W		100W MOPA
加工(gong)頭(tou)數	單頭/6頭/12頭	單頭/6頭/12頭		單頭/6頭/12頭		單頭/雙頭
電(dian)池(chi)片尺寸	300400/500500/600600/600900/600*1200mm
電(dian)機定(ding)位精度(du)	±5um
電機最高速度	1m/s
最小刻(ke)蝕線(xian)寬	30um		30um		30um		1-20mm
最小公差	±5um		±5um		±5um		±100um
最小線間(jian)距	30um		30um		30um		/
熱效應區	5um		5um		5um		50um
CCD定位(wei)精度	±10um		±10um		±10um		±10um
直(zhi)線度	±20μm		±20μm		±20μm		±20μm
除塵率	≥99%		≥99%		≥99%		≥99%
輸(shu)送帶速(su)度(du)	20m/min（速(su)度可調，會(hui)對節拍造成影響(xiang)）
進(jin)出料高度	900±20mm