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發布時間:2019-04-04 點擊量:4617
采(cai)用(yong)1064納(na)米激光激光刻蝕機對FTO、ITO導電膜進行(xing)線路蝕刻,發現了FTO、ITO存在蝕刻不(bu)斷的現象,出現點狀現象,請問如(ru)何處理?
管理員回(hui)復:通常情況下激光刻蝕FTO或ITO刻不斷(duan)有三點愿意需要去做調整:
1.檢(jian)查薄膜或玻璃(li)材料是否平整(zheng),如果檢(jian)測平整(zheng)性高,需要重新校正平臺(tai)、振鏡(jing)的精度;
2.檢查激(ji)光器的頻率、脈寬(kuan)(kuan)設置,可通(tong)過加大頻率、降低脈寬(kuan)(kuan)來調(diao)整;
3.檢查(cha)振(zhen)鏡掃描(miao)速(su)度(du)設(she)置,是否開的(de)(de)過快(kuai),可降低振(zhen)鏡掃描(miao)速(su)度(du)配合激光器的(de)(de)頻(pin)率、脈寬設(she)置問題來做(zuo)。
另(ling)外還可(ke)(ke)以(yi)(yi)通(tong)過掃描多次(ci)的方式來檢測(ce)是(shi)否(fou)同(tong)一個(ge)位置可(ke)(ke)不短(duan)呈現點狀,還是(shi)其他位置也有(you)這種情況,可(ke)(ke)以(yi)(yi)判斷出(chu)是(shi)否(fou)不平(ping)整(zheng)或(huo)振鏡有(you)問題,還可(ke)(ke)以(yi)(yi)設置出(chu)光(guang)延遲等等問題去解決,如果機(ji)(ji)器時間過長,還要(yao)考慮機(ji)(ji)器功率(lv)衰減(jian)的問題,可(ke)(ke)以(yi)(yi)通(tong)過加大(da)功率(lv)來做測(ce)試。
管理員(yuan) Asked question 2019-05-22
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