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激光刻蝕設備的發展在于市場與研發

發(fa)布時間:2019-04-24 來源:元(yuan)祿光電

激光是(shi)一種通(tong)過受激輻射產(chan)生的光放大(da),通(tong)過刺激原子導致(zhi)電(dian)子躍遷釋(shi)放輻射能量而產(chan)生的具(ju)有同(tong)調性(Coherence)的增強(qiang)光(guang)子束,其(qi)特(te)點包括發(fa)散度(du)極小、亮度(du)(功率(lv))很高、單色(se)性(xing)好(hao)、相干性(xing)好(hao)等。產生激(ji)光(guang)需要“激(ji)發(fa)來源”、“增益介質”、“共振(zhen)結(jie)構(gou)”這三個要素。自(zi)1916年愛因斯坦描述了原子的(de)受激輻射(she)與自發輻射(she)的(de)關系以來,人們便開始猜(cai)想,激光(guang)是否可用來加強廣場(chang);1958年美國科學家根(gen)據氖光(guang)燈泡照射一(yi)種稀土晶(jing)體(ti)時候(hou)發出鮮艷的(de)、始(shi)終(zhong)聚集(ji)在一(yi)起的(de)強光(guang)現象提出了激光(guang)原理,即物質在受到與(yu)其分子固有振(zhen)蕩頻率相(xiang)同(tong)的(de)能量激發時,都(dou)會產生這種不發散的(de)強光(guang)--激光;1960年美國科(ke)學家梅(mei)曼(man)利(li)用高(gao)強閃(shan)光燈來(lai)刺(ci)激紅(hong)寶石,由此產生了0.6943微(wei)米(mi)的激光,世界上第一(yi)束激光,激光因此(ci)從科學理(li)論(lun)階段(duan)進(jin)入到(dao)實(shi)驗物理(li)階段(duan),自此(ci)以后激光技術便是多點開花,并從實(shi)驗物理(li)階段(duan)進(jin)入到(dao)應(ying)用階段(duan),并迅速走紅(hong),被(bei)譽為 20世紀以來(lai)最偉大的(de)(de)發(fa)明之(zhi)一,稱之(zhi)為最快到刀、最準的(de)(de)尺,現(xian)如今(jin)的(de)(de)日常(chang)工(gong)業生(sheng)產過(guo)程(cheng)中已(yi)經無法脫離激(ji)光(guang)技術衍(yan)生(sheng)出來(lai)的(de)(de)激(ji)光(guang)加工(gong)設(she)備(bei),成了一種(zhong)重要的(de)(de)加工(gong)工(gong)具,覆蓋到軍工(gong)、航(hang)空航(hang)天(tian)、汽(qi)車制造、醫療、電子制造、光(guang)伏生(sheng)產等多領域(yu)當中。

 

伴隨(sui)著時間的(de)(de)演進,人類在激(ji)光(guang)(guang)領域(yu)內的(de)(de)探索也(ye)在不斷突破,并(bing)取得了傲人的(de)(de)成果,如光(guang)(guang)纖激(ji)光(guang)(guang)、CO2激(ji)光(guang)、綠光(guang)、藍光(guang)、紫(zi)外光(guang)、深(shen)紫(zi)外光(guang)、X射線(xian)激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)等等,為各種商業(ye)、醫療、工業(ye)應(ying)用(yong)提供了強大的(de)后援(yuan)支撐。在(zai)發(fa)展不(bu)同(tong)波段(duan)激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)同(tong)時(shi),也(ye)在(zai)不(bu)斷(duan)(duan)探索激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)的(de)應(ying)用(yong),如激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)切割(ge)、激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)焊接、激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)打(da)標、激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)覆(fu)熔、激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)打(da)孔等,而激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)蝕(shi)也(ye)正是(shi)(shi)在(zai)此階段(duan)伴隨著(zhu)市(shi)場需求應(ying)運而生,并迅速躥紅,衍生出多種應(ying)用(yong),覆(fu)蓋到電子、光(guang)(guang)(guang)(guang)伏、醫療、新能源等多領域中(zhong)。在(zai)激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)蝕(shi)應(ying)用(yong)不(bu)斷(duan)(duan)縱(zong)向發(fa)展的(de)同(tong)時(shi),激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)科(ke)學(xue)家(jia)、工程師們未曾落下(xia)(xia)對激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)技術(shu)原理的(de)開發(fa),將激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)技術(shu)朝(chao)向更高亮(liang)度、超短脈沖時(shi)間方向發(fa)展,取得了可喜的(de)成(cheng)(cheng)績(ji),并以(yi)此來反(fan)(fan)(fan)饋市(shi)場,作用(yong)于(yu)市(shi)場,市(shi)場經濟效應(ying)下(xia)(xia)有反(fan)(fan)(fan)饋大研發(fa)和科(ke)學(xue)原理突破上(shang),形(xing)成(cheng)(cheng)閉(bi)環,最(zui)終形(xing)成(cheng)(cheng)了一條完整的(de)激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)產(chan)(chan)業(ye)鏈(lian),由科(ke)學(xue)基礎、科(ke)學(xue)材料、科(ke)學(xue)原理、科(ke)學(xue)技術(shu)、科(ke)學(xue)應(ying)用(yong)、科(ke)學(xue)實驗技術(shu)、市(shi)場經濟反(fan)(fan)(fan)饋等形(xing)成(cheng)(cheng)產(chan)(chan)業(ye)鏈(lian)中(zhong)的(de)不(bu)可或缺的(de)重(zhong)要(yao)組成(cheng)(cheng)部分(fen),而其中(zhong)的(de)每一個產(chan)(chan)業(ye)應(ying)用(yong)又形(xing)成(cheng)(cheng)小(xiao)的(de)產(chan)(chan)業(ye)鏈(lian),作用(yong)于(yu)市(shi)場,反(fan)(fan)(fan)饋到科(ke)研,無(wu)數個閉(bi)環產(chan)(chan)業(ye)鏈(lian)圍繞(rao)在(zai)大的(de)產(chan)(chan)業(ye)鏈(lian)環境下(xia)(xia),就(jiu)好像是(shi)(shi)相對論里面的(de)引(yin)力作用(yong),誰也(ye)離不(bu)開誰,但又相對獨(du)立,相互影響。

 

我們試著以激光刻蝕的發展應用來探討激光加工技術的工業應用發展趨勢,試圖向大家推廣激光刻蝕應用,并希望客人能夠提供相互合作、配合研發的機會,從一種工具的角度出發解決問題,并反饋到激光刻蝕工具工藝研發與改善。

 

激光(guang)刻蝕(shi)設備的(de)(de)原理是利用激光(guang)光(guang)束燒(shao)蝕(shi)材料表面,并汽化材料,從而達到材料去除、刻蝕(shi)的(de)(de)目的(de)(de),可根(gen)據(ju)材料對波長(chang)吸收的(de)(de)特性選擇使用不同波段的(de)(de)激光(guang)如(ru)1064nm532nm355nm激光等(deng),不同(tong)的波長針對不同(tong)的材料和加工(gong)用(yong)途。如玻璃材料上(shang)的導電ITO材(cai)料通常選擇1064nm的可調脈寬激(ji)光(guang)刻蝕、電致色玻璃行業采(cai)用(yong)532nm綠光激(ji)光刻蝕(shi)FTO等、銅薄膜材料選(xuan)用355nm紫(zi)外(wai)激光刻蝕等。

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超快激光刻蝕機(ji)600*1200mm

最(zui)初的(de)激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)蝕(shi)(shi)設備(bei)應(ying)用(yong)(yong)(yong)單(dan)一(yi)(yi)(yi),甚至在(zai)激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)圈(quan)子(zi)內都有一(yi)(yi)(yi)個統一(yi)(yi)(yi)的(de)名(ming)稱即(ji)觸摸屏激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)蝕(shi)(shi)機(ji),應(ying)用(yong)(yong)(yong)單(dan)一(yi)(yi)(yi),僅針對(dui)觸摸屏行(xing)(xing)業單(dan)一(yi)(yi)(yi)用(yong)(yong)(yong)途,隨著市(shi)場應(ying)用(yong)(yong)(yong)需求的(de)不斷(duan)提升(sheng),傳統工藝的(de)限制(zhi),新(xin)的(de)應(ying)用(yong)(yong)(yong)逐(zhu)漸(jian)被開(kai)發,如光(guang)(guang)伏行(xing)(xing)業激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)蝕(shi)(shi)、傳感器行(xing)(xing)業激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)蝕(shi)(shi)、電致色玻璃(li)激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)蝕(shi)(shi)、發光(guang)(guang)玻璃(li)激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)蝕(shi)(shi)等(deng)(deng)等(deng)(deng),除了一(yi)(yi)(yi)些導電材料的(de)刻(ke)(ke)(ke)蝕(shi)(shi),也(ye)逐(zhu)漸(jian)應(ying)用(yong)(yong)(yong)到(dao)無機(ji)材料的(de)刻(ke)(ke)(ke)蝕(shi)(shi)領域中如氧化(hua)鈦、氧化(hua)鋯激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)蝕(shi)(shi)等(deng)(deng),為激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)蝕(shi)(shi)設備(bei)的(de)應(ying)用(yong)(yong)(yong)打開(kai)了新(xin)的(de)大(da)門。

 

而隨著市場(chang)應用的(de)需求逐(zhu)步(bu)提升,對(dui)激光刻蝕設備的(de)要求也(ye)在不斷增加,以鈣(gai)鈦(tai)礦電(dian)池(chi)(chi)為(wei)例,早期的(de)太陽能光伏電(dian)池(chi)(chi)采(cai)用納秒級別(bie)的(de)1064nm紅外以及(ji)納秒532nm515nm綠(lv)光即(ji)可滿足,主要針對單層導電材(cai)料的刻蝕,如ITOFTO、硅(gui)片劃線等,而(er)鈣(gai)鈦礦電(dian)(dian)池(chi)市(shi)場中的(de)需(xu)求則(ze)朝(chao)向多(duo)層(ceng)材料、超精細激光刻蝕(shi)的(de)需(xu)求發展,對激光也提(ti)出(chu)了更(geng)高的(de)要求,納秒(miao)級別的(de)激光技術已經(jing)無法滿足加工需(xu)求。一種超短脈沖、高頻率、高單脈沖能(neng)量(liang)的(de)激光器引(yin)入(ru)到鈣(gai)鈦礦電(dian)(dian)池(chi)加工當中,如皮秒(miao)綠光激光刻蝕(shi)機、紅外飛秒(miao)激光刻蝕(shi)機等。

 

在(zai)引入初(chu)期(qi),采用(yong)的(de)(de)均(jun)來(lai)自進口激光(guang)器(qi)(qi)(qi),如(ru)相干(gan)、光(guang)譜物(wu)理、通(tong)快等公(gong)司,其(qi)特點是(shi)貴,對(dui)于用(yong)戶來(lai)說(shuo)承擔的(de)(de)費用(yong)太高(gao),不適合(he)前期(qi)投入的(de)(de)研發(fa)與(yu)生產(chan),因而(er)轉向(xiang)對(dui)國(guo)產(chan)超(chao)快激光(guang)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)開發(fa),并逐漸通(tong)過(guo)在(zai)工藝中的(de)(de)使用(yong)完善核(he)心器(qi)(qi)(qi)件,針對(dui)性(xing)更高(gao),最終形成了一整(zheng)套完整(zheng)的(de)(de)鈣鈦(tai)礦電池激光(guang)刻蝕產(chan)線,這也(ye)是(shi)國(guo)產(chan)設備的(de)(de)特色,哪里有(you)問題哪里去修改,直到滿(man)足客人(ren)需求為止(zhi),響應(ying)速(su)度(du)快、價格便宜,是(shi)攻城拔寨的(de)(de)利器(qi)(qi)(qi)。

 

自應用到鈣鈦礦電池激光刻蝕項目中后,超快激光刻蝕設備的應用又可以向無機電池、有機電池以及航空領域、環保領域、醫療領域等多方面發展,得益于超短脈沖、高頻率、高能量的激光技術突破,以此為基礎,元祿光電從鈣鈦礦電池激光刻蝕應用后輻射到有機太陽能電池、航空航天、醫療應用領域中,為超精細線寬激光刻蝕提供了解決方案。以航空航天為例,利用超短脈沖激光刻蝕設備在藍寶石玻璃上劃線,線寬小于20微米,深度5微米,間隔500微米(mi),邊緣(yuan)無毛刺,與納秒(miao)光(guang)(guang)源相(xiang)比(bi),線寬、間隔均可滿足要求,但納秒(miao)激(ji)(ji)光(guang)(guang)做(zuo)出深度一(yi)(yi)致性(xing)差,毛刺較為嚴重,而超快激(ji)(ji)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)蝕設(she)備(bei)能有(you)效解決這一(yi)(yi)問題,這也是既(ji)市(shi)場(chang)應(ying)用(yong)反饋(kui)(kui)到激(ji)(ji)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)蝕設(she)備(bei)前端激(ji)(ji)光(guang)(guang)技術超快應(ying)用(yong)發展又(you)回過頭作(zuo)用(yong)于開發市(shi)場(chang)應(ying)用(yong)的(de)(de)典型案(an)例(li),這樣(yang)的(de)(de)案(an)例(li)在激(ji)(ji)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)蝕設(she)備(bei)中(zhong)體現的(de)(de)淋漓盡致,這樣(yang)的(de)(de)循環發展,相(xiang)互推動,相(xiang)互影(ying)響條件下的(de)(de)小型激(ji)(ji)光(guang)(guang)產業鏈(lian)還有(you)許許多多,如激(ji)(ji)光(guang)(guang)打(da)孔(kong)設(she)備(bei)、激(ji)(ji)光(guang)(guang)調阻設(she)備(bei)等都在向前推進,作(zuo)用(yong)于市(shi)場(chang),同時又(you)從市(shi)場(chang)經濟中(zhong)反饋(kui)(kui)到產品完善、產品研發上,從而推動整個行(xing)業的(de)(de)健康發展,形成(cheng)一(yi)(yi)個完整的(de)(de)產業鏈(lian)。

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玻(bo)璃(li)激(ji)光刻蝕

這條產(chan)業鏈(lian)的(de)構成(cheng)結構可以(yi)(yi)是(shi)某個方面突出帶(dai)動其他小產(chan)業的(de)發(fa)展,也可以(yi)(yi)是(shi)是(shi)市(shi)場作用下的(de)推進,更是(shi)技術研(yan)發(fa)突破帶(dai)來的(de)紅利,正(zheng)如激光(guang)刻(ke)蝕設(she)備(bei)一樣(yang),設(she)備(bei)的(de)出現(xian)作用到(dao)(dao)某一領(ling)域,而(er)領(ling)域的(de)延伸(shen)使得激光(guang)刻(ke)蝕機能夠向(xiang)光(guang)寬廣的(de)領(ling)域發(fa)展,從而(er)反(fan)饋到(dao)(dao)研(yan)發(fa)、改善(shan),在(zai)此作用到(dao)(dao)市(shi)場應用,一種良(liang)性循(xun)環。因此在(zai)激光(guang)刻(ke)蝕設(she)備(bei)的(de)趨(qu)勢上不僅僅是(shi)在(zai)研(yan)發(fa)上要(yao)下工夫、投入人力(li)、物力(li)、財力(li),同樣(yang)要(yao)在(zai)市(shi)場開(kai)拓上投入更多的(de)精力(li),要(yao)讓客人參與到(dao)(dao)前端(duan)研(yan)發(fa)當中,以(yi)(yi)解決客人的(de)問題為導向(xiang),相互(hu)促進,共通(tong)成(cheng)長。武漢元祿光(guang)電yinzirui.cn

 

推(tui)薦設(she)備:激光刻(ke)蝕(shi)機

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